V. a. bei dickeren Schichten DNQ-basierter Positivlacke kann sich der Lack beim Belichten durch den in den belichteten Stellen gebildeten Stickstoff etwas aufblähen, was die Fokussierung des Lasers in der Lackschicht beeinträchtigt. Dagegen hilft ein mehrfaches Laserschreiben mit Pausen dazwischen, um den dabei jeweils neu gebildeten Stickstoff aus der Lackschicht ausgasen zu lassen.
