Nach einem zu kurzen/kühlen Softbake ist der Restlösemittelanteil der Lackschicht u. U. so hoch, dass ein Verkleben mit der Fotomaske stattfindet. Wir empfehlen eine Softbaketemperatur von 100°C für eine Minute je µm Lackschichtdicke auf der Hotplate, im Ofen durch die Dauer der Erwärmung einige Minuten länger.
