 MicroChemicals GmbH
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| → Mögliche Ursache: |
| Positivlacke wie der AZ® 1505 oder AZ® 1512HS erlauben Strukturgrößen unter 1 µm, der AZ® 701 MiR und der AZ® ECI 3007 auch unter 0.5 µm. Unter den Negativlacken eignet sich der AZ® nLOF 2020 Serie für Auflösungen im sub-µm Bereich.Hohe Aspektverhältnisse bei dicken und sehr dicken Lackschichten sind mit den Positivlacken AZ® 9260 und 40 XT, sowie den Negativlacke AZ® 15 nXT und AZ® 125 nXT realisierbar. |
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