 MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
info@MicroChemicals.de
Impressum / Datenschutz |
| → Zu heiß oder zu lange? |
| Bei einem zu heißen oder/und langen Softbake zersetzt sich ein nicht vernachlässigbarer Anteil des Fotoinitiators von Positiv- und Umkehrlacken, welcher im unbelichteten Zustand als Inhibitor die Abtragsrate im Entwickler verringert. Übersteigen Dauer und Temperatur des Softbake die empfohlenen Werte, kann dies bei gleichzeitiger Verringerung der Entwicklungsrate die Dunkelabtragsrate erhöhen, was die Erzielung sehr kleiner Lackstrukturen erschwert.Wir empfehlen eine Softbaketemperatur von 100°C für eine Minute je µm Lackschichtdicke. Bei Negativlacken (AZ® 15 nXT, AZ® 125 nXT) oder speziellen Dicklacken (AZ® 40 XT) weichen die optimalen Softbake-Parameter von dieser Regel ab, Details dazu in den jeweiligen Datenblättern.Bei der Verwendung von Öfen sollte die Dauer dazu addiert werden, welche die Substrate zum Aufheizen auf Solltemperatur benötigen. Auf Hotplates können massive oder schlecht Wärme leitende Substrate, sowie nicht planar anliegende (verspannte oder gewölbte) Substrate die effektive Temperatur in der Lackschicht verringern, was über eine Verlängerung des Softbake oder eine Erhöhung der Temperatur kompensiert werden kann. |
| → Zu kurz oder zu kühl? |
|
|
