Problemstellung:
Ungewohntes Erscheinungsbild des Fotolacks und der Lackschicht
Belackungstechniken: Häufige Problemstellungen
Belichtungstechniken: Häufige Problemstellungen
Entwicklung: Zu geringe Entwicklungsrate
Entwicklung: Zu hoher Dunkelabtrag
Schlechte Lackhaftung
Zu geringe laterale Auflösung des Fotolacks
Bläschen oder Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken
Bläschen in der Lackschicht nach dem Belichten
Bläschen in der Lackschicht nach Back- oder Prozessschritten
Nasschemisches Ätzen: Häufige Problemstellungen
Trockenätzen: Häufige Problemstellungen
Galvanik: Häufige Problemstellungen
Lift-off funktioniert nicht (gut genug)
Substrat-Angriff durch Fotochemikalien
Fotolack lässt sich nicht mehr entfernen
Vorkommen und Erscheinung:
Verfärbung?
Unbelackte Stellen nach dem Belacken?
Streifen, Bläschen und Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken?
Bläschen in der Lackschicht erst nach dem Softbake?
Matte oder wellige Lackoberfläche nach dem Beschichten?
Lösungsvorschläge:

MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
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 → Überlagerter Lack
Deren Ursache ist meist eine derart hohe Partikelkonzentration, wie sie nur im Lack durch eine Überlagerung oder den Kontakt zu ungeeigneten Lösemitteln entstanden sein kann. Zu hohe Lagertemperaturen oder eine starke Verdünnung beschleunigen die Lackalterung. Eine weitere Verwendung des Lacks evtl. verbunden mit Partikelfiltration, ist nicht empfehlenswert, da die Partikelbildung mit einem Verlust an Fotoinitiator verbunden ist.
 → Stark verdünnte Lacke
Weiter führende Technische Infos:

 → Lagerung, Alterung, Umfüllung und Verdünnung von Fotolacken
 → Lösemittel: Theorie und Anwendung
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