 |
Fotolack Prozessierung | Trouble-Shooting | Ätzchemikalien und Lösemittel |  |
 |
| Fotolacke | Ancillaries | Lagerung, Handhabung, Alterung | Substratvorbehandlung und Belacken | Backprozesse | Belichten | Entwickeln | Beschichten + Lift-off | Ätzen und Strippen |
| Vermeiden des Verfließens der Lackstrukturen | Vermeiden des Aufschäumens der Lackschicht beim Beschichten | Lift-off |