Fotolack Prozessierung

Trouble-Shooting

Ätzchemikalien und Lösemittel

Fotolacke

Ancillaries

Lagerung, Handhabung, Alterung

Substratvorbehandlung und Belacken

Backprozesse

Belichten

Entwickeln

Beschichten + Lift-off

Ätzen und Strippen

Mechanismus

Entwicklungsrate und Dunkelabtrag

Einfluss des Softbake

Einfluss der Belichtungsdosis