Fotolack Prozessierung

Trouble-Shooting

Ätzchemikalien und Lösemittel

Fotolacke

Ancillaries

Lagerung, Handhabung, Alterung

Substratvorbehandlung und Belacken

Backprozesse

Belichten

Entwickeln

Beschichten + Lift-off

Ätzen und Strippen

Belichtungswellenlängen, spektrale Empfindlichkeiten, Dosis

Rehydrierung

Unter-/Überbelichtung

Bleaching (Bleichen)

Auflösungsgrenzen

Etwas Chemie: Die Fotoreaktion