 MicroChemicals GmbH
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| → Wässrig alkalische Alternativen? |
| → Alternativen für Negativlacke |
| Quervernetzende Negativlacke wie die AZ® nLOF 2000 Serie oder der AZ® 15 nXT und 125 nXT können grundsätzlich auch mit einigen organischen Lösemitteln entwickelt werden, wozu wir PGMEA = AZ® EBR Solvent empfehlen. Hierbei ist ggfalls. durch angepasste Prozessparameter und einer Kontrolle des Entwicklungsvorgangs darauf zu achten, dass sich die lackschichten nicht im Lösemittel vom Substrat abheben. |
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