Problemstellung:
Ungewohntes Erscheinungsbild des Fotolacks und der Lackschicht
Belackungstechniken: Häufige Problemstellungen
Belichtungstechniken: Häufige Problemstellungen
Entwicklung: Zu geringe Entwicklungsrate
Entwicklung: Zu hoher Dunkelabtrag
Schlechte Lackhaftung
Zu geringe laterale Auflösung des Fotolacks
Bläschen oder Partikel in der Lackschicht nach dem Belacken
Bläschen in der Lackschicht nach dem Belichten
Bläschen in der Lackschicht nach Back- oder Prozessschritten
Nasschemisches Ätzen: Häufige Problemstellungen
Trockenätzen: Häufige Problemstellungen
Galvanik: Häufige Problemstellungen
Lift-off funktioniert nicht (gut genug)
Substrat-Angriff durch Fotochemikalien
Fotolack lässt sich nicht mehr entfernen
Vorkommen und Erscheinung:
Ausreichender Softbake?
Ausreichende Lackhaftung?
Zu hohe Belichtungsintensität?
Zu dicke Fotolackschicht?
Lösungsvorschläge:

MicroChemicals GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm, Germany
www.MicroChemicals.de
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 → Mögliche Ursache:
Je dicker die Fotolackschicht ist, desto schwieriger wird es, den beim Belichteten erzeugten Stickstoff an die Oberfläche diffundieren zu lassen bevor er Bläschen bilden kann. Deshalb empfehlen sich für dicke Lackschichten geeignete Dicklacke wie der AZ® 4562 oder AZ® 9260, deren N2-Generationsrate durch den geringeren Fotoinitiator-Anteil vergleichsweise gering ist, oder den chemisch verstärkten Ultradicklack AZ® 40 XT oder Negativlacke welche beim Belichten keinen Stickstoff freisetzen.
Weiter führende Technische Infos:

 → Belichten von Fotolack
 → Dicklackprozessierung
 → Lithografie-Forum Lithotalk