 MicroChemicals GmbH
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Impressum / Datenschutz |
| → Parameter für den Umkehrbackschritt |
| Bei Umkehrlacken hat der Umkehrbackschritt nach der ersten Belichtung die Aufgabe, die belichteten Bereiche im Entwickler unlöslich zu machen. Fällt der Umkehrbackschritt zu kühl oder zu kurz aus, ist die Abtragsrate dieser Lackbereiche im Entwickler deutlich erhöht. Die empfohlenen Umkehrbackparameter hängen vom jeweils verwendeten Umkehrlack und den Anforderungen an den Prozess ab. |
| → Parameter für den Post Exposure Bake bei Negativlacken |
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